臭氧（O3）是氧的同素异形体，在常温、常压下是一种具有鱼腥味的淡紫色气体，沸点为-112.5℃，密度为2.144kg/m3，比纯氧大1.5倍。

用臭氧处理废水的过程：臭氧先溶于水中；然后再与废水中所含的污染物进行氧化反应。臭氧在水中的溶解度并不大，它与污染物的反应速率也受到限制，所以反应速率一般不是很快。用臭氧处理废水，可使氧化产物的毒性降低；另外，臭氧在水中分解后得到氧，可使水中的溶解氧增加，不会造成二次污染。

臭氧主要用于废水的三级处理。其作用是降低废水中的COD；杀菌消毒；增加水中的溶解氧；脱色除臭；降低浊度。臭氧的消毒能力比氯强。对脊髓灰质炎病毒，用氯消毒，会保持0.5~1.0mg/L余氯量，需要1.5~2.0h的反应时间；用臭氧消毒，则保持0.045~0.45mg/L的剩余臭氧，只需2min的反应时间。若初始臭氧浓度超过1mg/L，经过1min接触，病毒去除率可达99.99%。

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