在半导体器件的制造过程中,会产生大量的废液,例如含铜废水、含氟废水等。
废液如直接排放会造成环境的污染,所以需要进行回收。目前,半导体制造中产生的含铜废液,一般采用委托处理的方式进行回收处理。一般直接产生的含铜废水中通的含量较低,所以需要经过预处理,提高铜含量的浓度,再进行回收处理。随着目前国内先进芯片工艺的发展,含铜废水的排放量不断上升,并且,含铜废水中络合铜高达70%以上,其浓度达不到回收的要求。
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